本発明に係るハンドリング装置は、上記のいずれかのハンドリングユニットと、該ハンドリングユニットの位置及び姿勢を定めるユニット駆動系と、前記シリンダ構造内に流体を供給する流体供給手段と、前記ユニット駆動系及び前記流体供給手段を制御する制御部と、を具備する。ここで、前記シリンダ構造内の前記作動体の軸線方向の位置を検出する作動体位置検出手段をさらに具備することが好ましい。また、本発明において、前記コレットの軸線方向の位置を検出するコレット位置検出手段をさらに具備することが好ましい。さらに、本発明において、複数の前記フィンガー部若しくは前記弾性変形部の振動、歪、変位などの個々の変位態様或いは変位態様の差若しくは比を検出する把持態様検出手段をさらに具備することが好ましい。また、本発明において、前記フィンガー部によって把持された把持対象物の物理量を検出する把持対象物検出手段をさらに具備することが好ましい。この把持対象物検出手段は、例えば、前記フィンガー部に設けられた、熱電対、導電センサ、振動センサなどの各種検出器で構成できる。
一方、特許文献２に記載のチャッキング装置では、コレットとエアシリンダ構造が隣接して配置されるために比較的コンパクトにはなるものの、両者が軸方向に配列されている点では上記と同様であり、構造上はコレットの大きさに対して実施例以上の小型化は難しい。また、コレット１２がヘッドキャップ部３とピストン体２０にそれぞれ局部的に接触するだけであるとともに、線ばね１５や圧縮コイルばね１８によって強制的に復帰するように構成されるため、コレットの位置精度を保ちにくいことから、把持部の把持精度や繰り返し精度が低下しやすいという問題がある。
この場合において、前記作動体の前記先端側外面部分は前記ハウジングの前記先端側内面部分に外周側から支持された状態で前記作動体の前記駆動部が前記コレットの前記被動部を内周側へ駆動することが望ましい。また、前記作動体の前記基端側外面部分と前記ハウジングの前記基端側内面部分との間に介在するシール部材により、前記作動体の前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面との間が気密に構成されることが望ましい。
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図５には、第４実施形態のハンドリングユニット４０の縦断面図（ａ）及び背面図（ｂ）を示す。この第４実施形態では、第１実施形態と同様のコレット４１、ハウジング４２及び作動体４３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ４８を介して流体供給口４２ｐから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第１～第３実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、作動体４３の受圧部４３ｄの軸線方向の位置を検出する近接センサなどからなる位置検出器４９を備えている点で第１実施形態と異なる。この位置検出器４９は、図示例では、ハウジング４２の基端部から支持部４２ｄを貫通してシリンダ構造４２ｓの内部に配置された検出部４９ｓを備える。なお、この位置検出器４９は、コレット４１のフィンガー部４１ｃが把持状態と非把持状態のいずれにあるかを判別できる程度に、作動体４３の軸線方向の位置を検出できるものであればよい。ただし、位置検出器４９を、作動体４３のシリンダ構造４２ｓ内の位置を詳細に検出できるセンサ機能を備えたものとすることにより、さらに詳細な状況を検知でき、後述する制御部の制御下において、さらに詳細な制御を行うことが可能になる。例えば、作動体４３の非把持状態から把持状態に移行したときの軸線方向のストロークを検出することにより、複数のフィンガー部４１ｃによって把持された把持対象物の把持寸法（把持径など）を推定することができる。
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作動体１３の外面上には、軸線方向先端側から軸線方向基端側に向かうときに外形寸法（図示例では外径）が増大する段差構造である外側段部１３ｅ（第２の段部）が形成される。この外側段部１３ｅは、上記シリンダ摺接部１３ｓ（基端側外面部分）と、上記支持部１２ｋに対して軸線方向１０ｘに移動可能に摺接する被支持部１３ｋ（先端側外面部分）の間に形成される。ここで、内側段部１２ｅは外側段部１３ｅに対して軸線方向先端側に形成される。また、上記内側段部１２ｅと上記外側段部１３ｅとの間には、図示例ではコイルばねである作動ばね１４（作動体付勢手段）が配置（格納）される。この作動ばね１４は、上記流体供給口１２ｐから供給される流体の流体圧が低減若しくは消失したときに、弾性復元力により、作動体１３を軸線方向基端側に戻す。これによって、駆動部１３ｃから被動部１１ｔに与えられていた駆動力が低減若しくは消失されるので、コレット１１の弾性変形部１１ｂの弾性変形が低減若しくは消失されることにより、複数のフィンガー部１１ｃが把持対象物の把持状態から把持前の非把持状態に対応する半径方向の位置に復帰する。ここで、通気経路１３ｔは、内側段部１２ｅと外側段部１３ｅの間の空間を外部に連通させる。ただし、通気経路１３ｔを形成せずに、当該空間内に圧縮性流体（空気やガスなど）を充填し、これの圧力によって弾性復元力を発揮する上記の作動体付勢手段を構成してもよい。
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